据2016年9月21日中国发明专利公报,广东东邦科技有限公司 《一种电子皮肤及其制备方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种电子皮肤及其制备方法,电子皮肤是在柔性基板上设有氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器,压力传感器和温度传感器分别位于柔性基板的两侧,氧化物薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,压力传感器用于驱动第一薄膜晶体管,温度传感器用于驱动第二薄膜晶体管。制备方法是在双面覆有导电材料的柔性基板上进行刻蚀、沉积形成氧化物薄膜晶体管、压力传感器和温度传感器。本发明提供的电子皮肤,可以同时测量压力和温度,结构简单,工作电压低、功耗小、灵敏度高、传感器信号间的干扰小。
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