据2016年10月10日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《硬掩模间隙壁结构及其制作方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种硬掩模间隙壁结构,包含有一第一间隙壁,设于一元件层上,且该第一间隙壁定义出多个孔洞图案,以及介于该多个孔洞图案之间的至少一星芒状孔洞图案;以及一第二间隙壁,设于该第一间隙壁上,并嵌入该星芒状孔洞图案中,借以使该星芒状孔洞图案轮廓圆滑化。
新创友,发明专利代理专家,
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