据2016年8月4日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《半导体盲孔的检测方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法,包括提供一包括导电区的半导体衬底;形成多个暴露出导电区的盲孔;在至少一盲孔的侧壁上形成一层阻档层,其中阻档层的电阻率大于导电区的电阻率,且阻档层和半导体衬底间不是欧姆接触;及在形成各个阻档层后,利用带电射线照射多个盲孔。
新创友,发明专利代理专家,
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