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清华大学深圳研究生院《一种全息光栅的曝光方法及曝光光路》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2016年2月10日中国发明专利公报,清华大学深圳研究生院 《一种全息光栅的曝光方法及曝光光路》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种全息光栅的曝光方法及曝光光路,曝光方法包括调节两个曝光 光源的位置,形成曝光光路的步骤:(1)确定两个曝光光源的初始位置;(2)计算仿 真的初始光路工作后形成光栅的成像质量参数;(3)在初始光路中设置补偿镜;(4) 根据补偿镜的位置调节曝光光源的位置至新位置;(5)计算仿真的新光路工作后形成光栅的成像质量参数;(6)判断步骤(5)的成像质量参数与步骤(2)的成像质量参 数的差值是否相当。在是相当的条件下,将新位置作为曝光光源的最终位置;将新位 置下对应的新光路作为最终的曝光光路。本发明的曝光方法及曝光光路,可在不影响 光栅制作要求和成像要求的前提下有效地解决曝光光源之间的距离过近的问题。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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