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南亚科技股份有限公司《形成柵極導體結構的方法》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2015年10月8日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司《形成柵極導體結構的方法 》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种形成栅极导体结构的方法。其特征在于包括:提供基材,其上设置有栅极层,栅极层包含有第一层及第二层;于栅极层上形成多层硬掩模,而且多层硬掩模包含有第一硬掩模层、第二硬掩模层和第三硬掩模层;于多层硬掩模上形成光致抗蚀剂图案;进行第一蚀刻工艺,以光致抗蚀剂图案当作第一蚀刻抵挡层,蚀刻第三硬掩模层;进行第二蚀刻工艺,以图案化第三硬掩模层当作第二蚀刻抵挡层,蚀刻第二硬掩模层及第一硬掩模层;以及进行第三蚀刻工艺,以图案化第一硬掩模层当作第三蚀刻抵挡层,蚀刻栅极层的第二层。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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