据2015年3月11日中国发明专利公报，南亚科技股份有限公司《制作具有埋入式位线与埋入式字线的内存装置的方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种制作具有埋入式位线与埋入式字线的内存装置的方法，其提供一半导体衬底，其上具有多个线形有源区域与位于所述线形有源区域之间的线形沟槽隔离区域，所述线形有源区域以及线形沟槽隔离区域沿着一第一方向交替排列；在所述半导体衬底中形成沿着一第二方向延伸的埋入式字线，所述埋入式字线与所述线形有源区域及所述线形沟槽隔离区域相交，所述第一方向不垂直于所述第二方向；在所述半导体衬底中形成沿着一第三方向延伸的埋入式位线，所述第三方向垂直于所述第二方向；以及于所述埋入式位线之间的储存节点位置上形成储存节点。
本发明有益的技术效果在于：
可省去形成储存节点接触结构(或「存储单元接触结构」)的工艺步骤来简化制作流程。省去存储单元接触结构亦可避免潜在的存储单元接触结构到位线之间或是存储单元接触结构/胞接触结构之间等短路问题，故能为下一世代的存储单元制作带来更多好处。此外，因位线的埋入式设计而平坦化的衬底面可增加用于储存节点的AA平台区域。
新创友，发明专利代理专家，
电话：0755-88858101 /83671888
传真：0755-83671968
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