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南亚科技股份有限公司《半导体元件》由新创友代理成功获得发明专利权

   据2016年7月14日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《半导体元件》由新创友代理成功获得发明专利权。

   本发明公开了一种具有硅贯通电极的半导体元件,包含有一基底,一氧化物层覆盖于所述的基底,至少一硅贯通电极贯穿所述的基底以及氧化物层中,且另包含多个深沟槽设置于硅贯通电极周围的基底中,前述的深沟槽会吸收热应力。

   

   新创友,发明专利代理专家,

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