据2016年7月7日中国发明专利公报，南亚科技股份有限公司 《半导体盲孔的检测方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法，包括提供一包括导电区的半导体衬底；形成多个暴露出导电区的盲孔，其特征在于电阻率大于导电区的高电阻层会位在至少一盲孔的部分或全部底部区域，且高电阻层和导电区的接触面不是欧姆接触;将导电材料填满多个盲孔，使导电材料和半导体衬底的接触面构成欧姆接触；及利用带电射线照射填满有所述导电材料的所述多个盲孔。
新创友，发明专利代理专家，
电话：0755-88858101 /83671888
传真：0755-83671968
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