据2016年7月7日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司 《接触孔的制作方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种接触孔的制作方法。首先提供衬底;在所述衬底上形成第一硬掩膜以及第二硬掩膜;在第二硬掩上涂布光刻胶层;进行光刻工艺,在所述光刻胶层中形成开口;进行第一次干蚀刻工艺,经由所述开口蚀刻第二硬掩膜,形成第一孔洞;将所述第二硬掩膜中的第一孔洞缩小成为第二孔洞;以及进行第二次干蚀刻工艺,经由所述第二孔洞蚀刻所述第一硬掩膜,形成第三孔洞。
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