据2015年9月10日中国发明专利公报,南亚科技股份有限公司《具有埋入式位线及垂直晶体管的存储装置以及其制作方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种形成埋入式位线的方法,其特征在于包括下列步骤。提供一衬底,且衬底具有一条状区域。在衬底的条状区域中形成一条状沟渠,其中条状沟渠具有一侧壁以及一底面。然后,加大条状沟渠的底面,使底面形成一弧状底面。接下来,在邻近弧状底面的衬底中形成一掺杂区。最后,在掺杂区旁形成一埋入式导电层。
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