据2015年6月24日中国发明专利公报，南亚科技股份有限公司《用来减低镜片加热现象的光掩膜》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种减缓透镜加热用的光掩膜，其包括基板、目标图案和重分配图案。基板包括有效的图案区域，目标图案则位于有效的图案区域中，而用来将目标图案建立到晶圆上。重分配图案也位于有效的图案区域中，而用来将能量重新分配至镜片上，但是又不会被转印至晶圆上，所以不会在将目标图案建立至晶圆上时反而改掉了目标图案。
新创友，发明专利代理专家，
电话：0755-88858101 /83671888
传真：0755-83671968
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