据2015年6月17日中国发明专利公报，南亚科技股份有限公司《形成自我对准的套准标记的方法》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种形成自我对准的套准标记的方法，首先提供位在基材上的一第一区域、一第二区域、以及位于第一区域和第二区域之间的主要特征。第一区域界定出一第一边界而第二区域界定出一第二边界。其次，形成一截切掩膜层分别覆盖第一区域与第二区域并同时又裸露主要特征。然后，判定截切掩膜层是否与第一边界或第二边界自我对准，而建立一自我对准套准标记。继续，当截切掩膜层与第一边界或第二边界自我对准时，进行一主要特征的刻蚀步骤将主要特征转移到基材上。
新创友，发明专利代理专家，
电话：0755-88858101 /83671888
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