据2015年1月28日中国发明专利公报，立积电子股份有限公司《电容式加速度计》由新创友代理成功获得发明专利权。
本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、二第一支撑基座、第二支撑基座、二第一弹性件、第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。二第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。每一第一弹性件分别以垂直于第一轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及相对应的第一支撑基座间，二第一弹性件的弯折次数彼此相异。第二弹性件以垂直于第二轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第二支撑基座间。第一及第二梳状电容组分别设置在对应第二及第一轴向的位置上且连接于第一质量块。第一轴向垂直于第二轴向。借此，电容式加速度计的体积可进一步地缩减。
根据上述技术方案，本发明相较于现有技术至少具有下列优点及有益效果：本发明利用改变弹性件弯折方式（如弹性件弯折次数彼此相异、改变弹性件弯折方向等）、改变梳状电容组上的梳状电容板与固定梳状电容板的组数，或是改变梳状电容组与弹性件的配置的设计，以进一步地缩减电容式加速度计的整体体积或是提升电容式加速度计在第一轴向及第二轴向上的感测线性度及灵敏度。
新创友，发明专利代理专家，
电话：0755-88858101 /83671888
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